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      芯片刻蝕機熒光光纖溫度在線監測裝置

      半導體電子芯片技術是引領各行業自動化水平的高科技技術,目前半導體行業的納米芯片技術發展較為迅速,基本上已實現10nm以下的量產。

      干式刻蝕機是將承載有晶圓的托盤放置在腔體內的靜電卡盤上,托盤表面反應區溫度對穩定工藝至關重要,其直接影響蝕刻速率和選擇比,同時蝕刻工藝過程中晶圓托盤在升降裝置的驅動下存在位置度偏差,測溫裝置有效的與托盤接觸來獲得準確的工藝溫度對穩定工藝也至關重要。

      同時,據專業內了解,干式刻蝕機的反應區存在較強的射頻場,這種強烈的射頻場給刻蝕過程的溫度控制帶來了極大的困擾,加之現階段的測溫傳感器(電子式、光學紅外式)均具有相當大的弊端,從而也對半導體芯片技術產生了一定的阻礙作用。

      熒光式光纖測溫是利用熒光物質在受在一定波長的脈沖光激勵所輻射出的熒光的持續衰減時間僅與熒光物質所處環境的溫度有光?;诖颂匦缘墓饫w溫度傳感器,避免了射頻場的干擾,在狹小的空間內采用接觸的方式測溫,能夠極大的提高測溫的精確度和精準度。同時,采用的光纜能將信號傳輸至遠離惡劣環境的場所,使光電器件穩定運行,大大降低了環境對溫度測量的影響。

      熒光式刻蝕機溫度測量裝置能夠采用傳感頭安裝于內部可更換部分靜電卡盤上,傳輸光纜通過行程可調接頭安裝于刻蝕機臺基板上并與靜電卡盤上的傳感頭對接的方式進行內部晶圓托盤的溫度測量,可有效解決晶圓蝕刻過程中溫度的穩定監測。

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